Semiconductor Photoresist Ultrasonic Lithography Coating System

 

 

 

Ultraääniruiskutus on yksinkertainen, taloudellinen ja toistettava prosessi valoresistin pinnoittamiseen fotolitografiakiekon käsittelyssä. FUNSONICin puolijohdevaloresistinen ultraäänilitografiapinnoitusjärjestelmä käyttää edistynyttä kerrostekniikkaa virtausnopeuden, pinnoitusnopeuden ja kerrostuksen määrän hienosäätöön. Hidas ruiskuvalu määrittelee sumutetun ruiskun tarkaksi ja hallittavaksi kuvioksi, joka välttää yliruiskutuksen ja tuottaa erittäin ohuita ja tasaisia ​​kerroksia.
FUNSONICin puolijohdevaloresistin ultraäänilitografiapinnoitusjärjestelmällä on etuja tasaisempien pinnoitteiden levittämisessä, erityisesti korkean sivusuhteen urien ja V{0}}muotoisten urarakenteiden sivuseinien yläosaan. Keskipakokierto ei pysty muodostamaan tasaisia ​​pinnoitteita sivuseinille keräämättä liikaa fotoresistiä ontelon pohjalle.
 

 

 

 

 

1. Tasainen kalvopeitto erilaisille pinnan ääriviivoille.
2. Pystyy päällystämään korkean kuvasuhteen uria erinomaisella yhtenäisyydellä.
3. Tukkeutumaton sumuttava suihke.
4. Pystyy kerrostamaan erittäin yhtenäisiä yhden mikronin ohuita kerroksia.
5. Toistettava kypsä ruiskutusprosessi.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Suositut Tagit: puolijohdevaloresist ultraäänilitografiapinnoitusjärjestelmä, Kiina puolijohdevaloresist ultraäänilitografiapinnoitusjärjestelmän valmistajat, toimittajat, tehdas