Sironta -ultraäänisuuttin käyttöönotto

 

Sirjasuuttimet käyttävät matalapaineista ilmaa/kaasua tasaisten, leveiden suihkukuvioiden tuottamiseen, ja jokainen suuttimella on jopa 9,8 tuumaa (25 senttimetriä) riippuen etäisyydestä substraatista. Ilmavirtauksen nopeus on hallittavissa, jotta atomisoidun suihke tai suuret vaikutukset sallimaan tuotteen tai substraatin alhainen tai suuri vaikutus. Sarjassa kytketyt useat suuttimet voivat saavuttaa äärettömän leveyden. Hajotussuuttimensuunnittelua käytetään erittäin toistettaviin leveisiin kuvioihin hoikoilla suuttimissa.

Sirontatyyppinen ultraäänisuutu on ultraääni suuttimella, jolla on syklonikartiosuihke. Se käyttää ultraääni -suuttimen tekniikkaa ja erityisen pyörrevirtauskanavan suunnittelun kautta kantoaaltokaasu muunnetaan tasaiseksi pyöriväksi ilmavirtaksi siten, että nestemäisen sumun ultraääniatomisointi dispergoituu syklonisumun muodossa, laajentaen suihketta suihketta. Atomizerin alue. Ultraäänisäsusut voidaan myös ruiskuttaa pystysuorille tai kaareville pinnoille ja muille kulma -substraateille.

Sirontavan ultraäänisuuttimien tyypillinen levitys on fotoresistipinnoite puolijohdisiruilla, joissa fotoresisti ruiskutetaan puolijohdesiruille. Sisarontatyyppisen ultraäänisuutimen lähettämän sumun kiertohajotuksen vuoksi yhtenäinen fotoresistista kalvoa voidaan muodostaa paitsi kiekkotasolle, myös kiekkojen mikrorakenteen sivuseinämiin ja kulmiin. Lisäksi sirontatyyppistä ultraäänijärjestelmää voidaan käyttää myös ohutkalvojen aurinkokenno -pinnoitteisiin, kalsiumtitanaattiin aurinkokenno -pinnoitteisiin, AR -siirto- ja heijastuskalvopäällysteisiin, lämpöeristyskalvojen päällysteisiin, superhydrofobisiin päällystyspinnoitteisiin, PCB -vuotopäällysteisiin ja muihin sovelluksiin.

 

 

Periaate:

 

Ultraäänisyrät muuntavat korkeataajuiset ääniaallot mekaaniseksi energiaksi pietsosähköisten muuntimien kautta ja muuntaa sitten mekaaninen energia nesteeksi. Tämä pitkittäinen ylöspäin ja alaspäin suuntautuva värähtely tuottaa pysyviä aaltoja nestemäisessä kalvossa ultraäänisuuttimen kärjessä, jossa voimageneraattori voidaan ohjata näiden aaltojen amplitudia. Nämä paikallaan olevat nestemäiset aallot voivat ulottua ylöspäin ultraäänisuuttimen ylhäältä, ja kun pisarat jättävät suuttimen suuttimen pinnan, ne hajoavat yhtenäiseksi hienoksi mikrometrin kokoisten pisaroiden sumuksi.

Toisin kuin painosuuttimet, ultraäänisästöt eivät käytä korkeaa painetta nesteen pakottamiseen pienen reiän läpi suihkun tuottamiseksi. Neste tulee suhteellisen suuren suuttimen keskuksen läpi ilman painetta, ja suuttimen sisällä suuttuu ultraääni tärinä.

Jokainen ultraäänisuutin toimii tietyllä resonanssitaajuudella, joka määrittää pisaran mediaanikoon. Pisaran koon ero on hyvin pieni, ja sen jakauma voidaan ennustaa tarkasti tietyllä alueella matemaattisten laskelmien avulla. Esimerkiksi 120 kHz: n suutin tuottaa mediaanipisaran 18 mikronia ruiskuttaessa vettä. Mitä suurempi taajuus, sitä pienempi mediaaniarvon lasku.

 

 

Etu:

 

1. Suuri pintasuihkutus, ruiskutusleveys: 40-150 mm

2. Coating uniformity:>95% yhdenmukaisuus

3. Säästä raaka -aineet: Raaka -aineiden käyttöaste on yli 85%, mikä on neljä kertaa perinteisen kahden nesteen ruiskutus

Pinnoitteen paksuuden korkea tarkkuusohjaus: 20 nm kymmeniin pinnoitteen mikrometreihin voidaan valmistaa, pinnoitteen paksuuden tarkan ohjauksen avulla

5. hienot atomisoidut hiukkaset

6. tasaisesti sumuloidut hiukkaset

7. voidaan ruiskuttaa ajoittain tai jatkuvasti

8. Erittäin matala suihkevirta

9. ei estä suuttimen

Klo 10. anti -korroosionsuutin

11. Korkea tarkkuus hallittava ruiskutus