Puolijohteiden litografian valoresistiset pinnoitusjärjestelmä

Verrattuna perinteiseen spin-pinnoitteeseen, fotoresistisilla pinnoitteilla, jotka käyttävät ultraääniruiskutusta Keskipakokierto ei voi tallettaa yhtenäisiä pinnoitteita sivuseinää pitkin, eikä se talleta liian paljon fotoresisteja ontelon pohjalle.

Ultraääniruiskutus on yksinkertainen, taloudellinen ja toistettava prosessi fotoresistiseen pinnoitteeseen fotolitografian kiekkojen prosessoinnissa. Funsonicin ultraäänimuotoinen pinnoitusjärjestelmä käyttää edistynyttä kerrostekniikkaa virtausnopeuden, pinnoitteen nopeuden ja laskeutumismäärän hienoksi. Matalan nopeuden suihkumuovaus määrittelee atomisoituneen spray tarkan ja hallittavan kuvion ylimääräisen sumutusten välttämiseksi ja erittäin ohuiden ja tasaisten kerrosten tuottamiseksi. Suoran ultraäänitekniikan avulla tehdyn ruiskutuksen on osoitettu olevan luotettava ja tehokas menetelmä valoresistien tallettamiseksi 3D -mikrorakenteisiin, mikä vähentää metallien liiallisen altistumisen aiheuttamia laitteiden viat.

Ultraäänisyrkkien edut fotoresistisessa pinnoitusprosessissa:

1. Erilaisten pintamuotojen yhtenäinen kalvon kattavuus.
2. Pystyy peittämään korkean kuvasuhteen urat, joilla on erinomainen tasaisuus.
3. Tukimattomat sumutuvat.
4.
5. toistettava kypsä ruiskutusprosessi.