Ultraäänipinnoitustekniikka valoresistiseen ruiskuttamiseen

Ultraääniruiskutus on yksinkertainen, taloudellinen ja toistettava prosessi fotoresisti- ja polyimidipinnoitteille. Ultraäänipinnoitusjärjestelmä voi käyttää yksinkertaisia ​​kerrostekniikoita virtausnopeuden, pinnoitteen nopeuden ja laskeutumismäärän hallitsemiseksi.

Puolijohdefouresistisiin pinnoitteisiin käytetään ultraääniruiskutustekniikkaa. Verrattuna perinteisiin kehräyspinnoitus- ja kyllästyspinnoitusprosesseihin, sillä on korkea yhdenmukaisuuden, hyvän mikrorakenteen kapseloinnin ja hallittavan pinnoitusalueen edut. Viimeisen vuosikymmenen aikana kolmiulotteisten mikrorakenteen valoresististen päällysteiden käyttö on osoitettu kokonaan. Prosessi fotoresististen päällysteiden valmistus ultraäänimuotoisella ruiskutuksella on merkittävästi parempi kuin perinteiset kehruupinnoitteet mikrorakenteen pakkauksen ja tasaisuuden suhteen.

Ultraääniruiskutusjärjestelmä voi tarkasti hallita virtausnopeutta, pinnoitteenopeutta ja laskeutumistilavuutta. Matalan nopeuden suihkumuovaus määrittelee suihkun tarkkaan ja hallittavan kuvion liiallisen suihkun välttämiseksi, kun ne tuottavat erittäin ohuita ja tasaisia ​​kerroksia. Tämä ultraääniruiskutusjärjestelmä voi hallita paksuutta submikronista yli 100 mikroniin ja peittää minkä tahansa muodon tai koon.

Fotoresistien ultraäänipinnoitteen tekniikan ominaisuudet:

◆ Yhdenmukainen kalvon peitto eri pintamuodoista

◆ Kosketussuihkutus

◆ Mikroilmavirran ruiskutus, useita nestemäisiä ruokintajärjestelmiä

◆ Nopea ohjaustarkkuus

◆ Korkea nesteen käyttöaste

◆ Korkea joustavuus kemikaalissa ja pinnoitteen suorituskyvyssä

◆ Korkea siirtotehokkuus ja minimaalinen jäte

◆ Toistettava kypsä ruiskutusprosessi