Polyimidi- ja fotoresistinen ultraäänisuihkupinnoitusjärjestelmä mikrosuuttimella

 

 

Ultraäänisuihkutusjärjestelmä on osoittautunut sopivaksi erilaisiin sovelluksiin, jotka vaativat yhtenäisiä, toistettavia fotoresisti- tai polyimidikalvopinnoitteita, ja se on yksinkertainen, taloudellinen ja toistettava fotoresisti- ja polyimidipinnoitusprosessi.
Polyimidi- ja fotoresististen ultraäänipinnoitteiden yleisiä sovelluksia ovat MEMS, linssit, mikrofluidilaitteet, mikroelektroniikka ja suodattimet, mutta eivät rajoitu niihin. Pinnoitejärjestelmät pystyvät pinnoittamaan litteitä ja 3D-substraatteja, jotka sisältävät tyypillisesti piisiruja, lasia, keramiikkaa ja metalleja.

 

 

 

 

 

Ultraäänisuutin on tiettyyn taajuusresonanssiin perustuva virityslaite. Niiden maksimipituus ja halkaisija ovat kääntäen verrannollisia resonanssitaajuuteen taajuusalueella 25-120 kHz; Toisin sanoen mitä korkeampi ultraäänitaajuus, sitä pienempi anturi, ja myös suuttimen sumutuksen synnyttämä keskimääräinen pisarakoko pienenee.

Ultraäänisuutin koostuu useista osista. Käyttökomponentti sisältää parin pietsosähköisiä muuntimia, jotka muuttavat sähköenergian mekaaniseksi liikkeeksi. Korkeataajuinen-virtalähde tulee erillisestä generaattorista, joka voi lukittua suuttimen resonanssitaajuuteen. Anturi sijaitsee kahden titaanisylinterin välissä, jotka vahvistavat anturin värähtelyliikettä maksimoidakseen sen vaikutuksen sumutuspintaan. Valitsimme materiaaliksi titaanin, koska sillä on korkea vetolujuus, hyvät akustiset ominaisuudet ja erinomainen korroosionkestävyys.

Neste kuljetetaan sumutuspinnalle halkaisijaltaan suuren -kanavan kautta suuttimen koko pituudelta. Kun neste saavuttaa sumutuspinnan, se kohtaa korkean amplitudin värähtelyjä, jotka hajottavat sen pieniksi pisaroiksi, jotka liikkuvat pienillä nopeuksilla (alle 3 tuumaa sekunnissa). Tämän vaikutuksen saavuttamiseksi sovelluksen teho on pidettävä suhteellisen kapeassa ikkunassa. Liian pieni teho saa suuttimen lakkaamaan toimimasta, eli sumutusta ei nyt tapahdu; Jos sähkö on liian korkea, neste repeytyy massiiviksi paloiksi, mikä ei enää sovellu sumutukseen. Yleensä suuttimen käyttösähkö vaihtelee 1 ja 15 watin välillä riippuen ruiskutetun nesteen tarkasta kaaviosta ja kodeista.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Suositut Tagit: polyimidi- ja fotoresistinen ultraäänisuihkupinnoitusjärjestelmä mikrosuuttimella, Kiinan polyimidi- ja fotoresistinen ultraääniruiskutusjärjestelmä mikrosuuttimien valmistajilla, toimittajilla, tehtaalla